微型热式质量流量计
MEMS微型热式质量流量计采用MEMS微机电传感与热式测量原理，专为微小气体流量工况设计，可直接计量气体质量流量，无需温压补偿。设备体积小巧、响应灵敏、无压力损失、测量精度高，适配各类洁净干燥气体，安装便捷、运行稳定，广泛应用于实验室仪器、精密设备、小型气路、新能源及工业微量气体监测场景。
技术参数
范围
0.06-60 m³/h
温度
-10℃-55℃
防护等级
IP67
输出
脉冲/4-20mA
通讯
RS485
测量精度
±（1.5%+ 0.2F.S)
功率
＜2.4 W
本体材料
铝 /SS304
耐压
＜1.0 Mpa
电源
15-24VDC
连接方式
G3/8 G1/2
摘要说明
MEMS微型热式质量流量计是专为微小气体流量研发的高精度精密计量仪表，依托先进MEMS微机电芯片与热扩散原理，可直接测量气体质量流量，无需温压补偿。设备体积微小、响应迅速、无管道压损、量程比宽，适配各类洁净干燥气体，运行稳定、重复性好，支持信号远传，适配狭小安装空间，是精密实验、分析仪器、小型气路测控的专用设备。
产品详情
一、产品概述
MEMS微型热式质量流量计是新一代微型精密气体计量设备，基于MEMS微机电芯片技术打造，专注微小、低流速气体质量流量检测。区别于传统流量计，无需温压换算，直接输出质量流量数据，结构紧凑、适配狭小安装空间，抗干扰能力强，可长期稳定运行，满足精密微量气体测控场景需求。
二、工作原理
依托热扩散测量原理，利用MEMS高精度传感芯片采集气体流动产生的温度场变化，通过检测气流带走的热量差值，精准换算气体实时质量流量。全程无需压力、温度补偿，信号响应快、数据线性度好，可实现微小气体流量的连续、精准、稳定计量。
三、核心产品优势
- 直接质量计量：无需温压补偿，直接输出气体质量流量，数据精准、无需二次换算。
- 超高灵敏度：适配微小低流速气体，微量流量检测精度高、重复性优异。
- 无压力损失：微通道结构设计，气流阻力极小，不影响气路系统工况。
- 体积小巧易装：微型芯片集成设计，适配狭小气路，安装简单、适配性广。
- 智能信号输出：支持常规数字信号传输，可对接设备系统，实现实时监测与数据记录。
四、使用场景
实验分析仪器：实验室微量供气、气体配比、分析设备精准流量测控。
精密设备配套：检测设备、检漏仪器、小型自动化气路流量监测。
新能源行业：氢能、锂电设备微量气体输送与流量统计管控。
通用工业气路：压缩空气、氮气、氧气、惰性气体等洁净微小气体计量。
